運動控制與精密運動平台解決方案

 

產品型號：HEIDENHAIN/ ETEL comprehensive product range

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：海德漢股份有限公司

攤位號碼：L218

 

產品特色

 

ETEL運動平台VULCANO2與主動式制振平台QuiET，因此可提供給客戶高度整合性的運動平台解決方案。VULCANO2是一款具有創新設計概念，並搭載著名ETEL鐵心式馬達以及高階光學尺的龍門堆疊式多軸運動系統，尤其適用於晶圓前段和3D IC製程檢測等製程，例如微影堆疊量測、微小關鍵尺寸特徵2D&3D量測、薄膜量測等應用。QuiET則能有效消除來自樓板振動和運動平台本身加減速的振動，QuiET的前饋控制可消除高達99%的振動。

海德漢/ETEL的產品，如光學尺、運動控制器、運動平台與制振平台等，可以彼此互相搭配提供完整解決方案給客戶，也能依照客戶需求單獨提供，就業務模式上相當彈性且多元。而他也強調，海德漢/ETEL豐富的應用經驗，搭配海德漢/ETEL所提供的完整解決方案，可縮短開發時間，使客戶端設備快速導入量產。以往客戶需要自行整合來自各供應商的零組件，並對其原型機進行完整測試，確認沒有問題後才會進入量產階段。使用海德漢/ETEL的完整解決方案，可有效簡化開發流程，提升研發效益，使設備快速導入量產。

這類的解決方案非常適合用在半導體各種尺寸的晶圓檢測製程以及各種先進封裝製程中(如: CoWoS, InFO ,SoIC)，目前在許多國際大廠的關鍵製程設備中，都可以看到海德漢/ETEL的身影。海德漢/ETEL不僅是設備業大廠的重要合作夥伴，也是名副其實的隱形冠軍。

 

相關產品

 

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  多個自由度精度量測技術

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