晶圓暫時性貼合與剝離設備
產品型號:Pyxis 3001-TB / Pyxis 3001-TDB / Pyxis 3001-FDB
產品分類:半導體封裝與組裝設備
廠商名稱:辛耘企業股份有限公司
攤位號碼:M228
產品特色
採用解離層與紫外線固化型鍵合膠來達到暫時性支撐貼附。
適合應用在晶圓背面減薄、2.5D異質整合封裝的相關應用
解鍵採用近紅外線固態雷射,掃描精準快速
穩定性高、單位產出片數可達 20pcs/hr
設計符合SEMI基準架構
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