線上3D白光干涉儀/非接觸式光學輪廓粗度量測儀
產品型號:smartWLI系列
產品分類:半導體智動化解決方案
廠商名稱:大慶科技儀器有限公司
攤位號碼:尚未更新
產品特色
3D白光干涉量測頭模組暨電動平台自動化整合
1. 體積小/重量輕3kgs架設方便容易/量測範圍大400um
2. 精度高/掃描速度超快/受環境振動影響降低
3. 垂直量測解析:≦0.1nm;量測範圍:數nm到400um,原廠X/Y軸電動平台自動疊合拼接
功能:2D/3D表面輪廓、粗糙度、段差、高度、平面度等微結構表面參數量測
應用領域:半導體、晶片、LED、Micro lens、MEMS等微結構表面形狀參數量測
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