精密潔淨奈米級光罩儲存櫃

產品型號：BM1238

攤位號碼：N003

產品特色

隨著微影技術的進步，光罩圖案越來越精細，光罩污染及良率損失的風險也隨之增加，倍縮光罩的塗層特別精細且易受損，外來的粉塵與化學殘留物，都是潛在的污染源，對光罩品質構成威脅。

除了光罩本身的製造品質，光罩的保存方式也極為重要，為了確保光罩的長期穩定性，通常會將光罩存放在潔淨的氮氣櫃中，藉由氮氣清除光罩上的化學污染，並保持適當的濕度環境。

博士門精密潔淨奈米級光罩儲存櫃，不僅提供潔淨、乾燥的儲存空間，還具備節能設計，相較於傳統氮氣櫃，能節省超過80%的氮氣用量。此外，櫃內可視化的溫濕度顯示功能，進一步提升光罩儲存過程中的可靠度和精準度。

主要特點：
1.光罩儲放取出管理：配備門禁刷卡及RFID程控系統，有效控制光罩的存取，提高安全性及精確度。
2.獨立氮氣流量監控：每個光罩盒均能獨立監控氮氣流量並回報數據，且採用了超環保節能設計，有效減少不必要的氮氣消耗。
3.溫濕度監控：系統可設定、記錄、警報及偏移校正溫濕度，並支援調整濕度範圍5%-60%RH。
4.警示功能：當光罩盒放入及取出操作異常時，系統會發出警報並記錄事件，確保操作無誤。
5.安全模式：設有門扇開門時間過長警報、濕氣過高警報及氧濃度過高警報，提供全面的安全保障。
6.進氣啟動與確認：當FFU風量啟動時，XCDA進氣會自動啟動，確保乾燥空氣流入系統。
7.氮氣進氣啟動與確認：經過氮氣純化器過濾後，氮氣會分層分流進入各個光罩盒，並透過出氣管路監控氮氣流出狀況，保持穩定的光罩儲存環境。
8.過濾系統：
程式過濾風車組 (FFU)：根據氧濃度設定啟動條件，精確控制空氣過濾和流通。
化學過濾網：能過濾乾燥空氣中的碳酸根離子、硫化物、氨氣等有害氣體，保護光罩免受污染。
空氣過濾網 (ULPA)：過濾極細粉塵，達到Class 1等級，提供無塵環境。
氮氣純化器：過濾氮氣中的有害氣體，確保儲存環境達到最高純度。

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