多個自由度精度量測技術

 

產品型號：HEIDENHAIN PP6000

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：海德漢股份有限公司

攤位號碼：L218

 

產品特色

 

在設備運動控制平台的零組件方案中，光學尺扮演著關鍵的角色，傳統光學尺僅能量測單一自由度上的位置，其他自由度上的誤差無法被量測，故精度就無法提升，因此在先進製程的良率提升，會遇到相當程度的瓶頸。若要解決這方面的問題，傳統作法必須使用多組光學尺搭配多個讀取頭來處理多個自由度的精度量測，後端的設備取得較為完整的量測數據後，便得以補償校正，確保整體設備的運作精度與穩定性都能有最好的表現。但這種作法在整體系統設計上就會變得非常複雜和沒有效率。為了解決這方面的問題，海德漢的2D平面編碼器 PP 6000可直接回饋X、Y、Rz三個自由度的量測數值，讓設備商可以直接使用不須再額外計算，可大幅縮短運作時間外，也讓整體系統精度提升至奈米等級。PP 6000可根據晶圓的大小，其光學蝕刻板從60mmx60mm到464mmx464mm共有4種尺寸能提供設備商選擇應用。

 

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