YAYATECH 晶圓切割後紅外線光學自動檢測系統
產品型號:YAYATECH DSI-3000T
產品分類:半導體封裝與組裝設備
廠商名稱:辛耘企業股份有限公司
攤位號碼:尚未更新
產品特色
1). 獨家專利液態介質系統:
搭載亞亞科技獨家專利的液態介質與系統,能消除光學干擾,實現高解析度的 IR 穿透Dicing Tape取像。
2). 即時穿透 Dicing Tape 檢測:
在 Wafer 切割後,無需移除Dicing Tape即可直接穿透檢測,精準捕捉傳統光學系統無法發現的 Inner Crack 與 Inner Chipping。
3). 提升良率與節省成本:
針對異質整合(Heterogeneous Integration)製程,及早檢出內部缺陷以防止損害擴散,達到顯著的成本節省並有效提升最終產品良率。
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