先進批次式烘烤設備
產品型號:Vertabake
產品分類:半導體封裝與組裝設備
廠商名稱:辛耘企業股份有限公司
攤位號碼:尚未更新
產品特色
Vertabake是最先進且具有成本效益的晶圓批次烘烤解決方案,一次烘烤可以處理1批貨(25 片),晶圓載具夾鉗(Cassette clamp)傾角設計,在晶圓搬運過程中,晶圓(Wafer)不會掉落或與晶圓載具支撐(Cassette holder)點敲擊,可選擇對批次晶圓進行垂直或水平烘烤。應用於先進封裝的預成型烘烤及預底部填充烘烤。
設計符合SEMI基準架構
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