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先進批次式烘烤設備

產品型號：Vertabake

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：辛耘企業股份有限公司

攤位號碼：尚未更新

產品特色

Vertabake是最先進且具有成本效益的晶圓批次烘烤解決方案，一次烘烤可以處理1批貨(25 片)，晶圓載具夾鉗(Cassette clamp)傾角設計，在晶圓搬運過程中，晶圓(Wafer)不會掉落或與晶圓載具支撐(Cassette holder)點敲擊，可選擇對批次晶圓進行垂直或水平烘烤。應用於先進封裝的預成型烘烤及預底部填充烘烤。
設計符合SEMI基準架構

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