JL-300SCG - 晶圓研磨機

 

產品型號：JL-300SCG

產品分類：半導體智動化解決方案

廠商名稱：準力機械股份有限公司

攤位號碼：N308

 

產品特色

 

1. 應用範圖
晶圓研磨機基本上是運用立式磨床加工原理，將鑽石砂輪一體式的鎖固在氣靜壓主軸。在半導體製程中，針對表面精度及平面度要求極為嚴格的硬脆材料，配合鑽石砂輪將吸附於氣靜壓工作臺面的晶圓進行減薄與研磨加工，達到晶圓製程所要求的嚴格平面度及表面粗糙度。

2. 適合研磨工件
晶圓研磨機是專用於晶圓、陶瓷、石英丶玻璃、寶石等之精密研磨作業。

3. 機器特性
內藏式馬達氣靜壓主軸。主軸迴轉精度可達0.1µm。氣靜壓旋轉工作臺, 符合嚴格的研磨度要求, 工作臺迴轉精度可達0.1 µm。Z軸進給解析度為0.01μm。

4. 標準附件
- 鑽石砂輪
- 法蘭
- 陶瓷真空吸盤
- 主軸溫度控制
- 器真空幫浦
- 工具箱及工具

5. 特殊附件
- 光學線上厚度偵測系統
- 自動上下料

 

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