S12 - 單面拋光機

 

產品型號：S12

產品分類：半導體智動化解決方案

廠商名稱：準力機械股份有限公司

攤位號碼：N308

 

產品特色

 

1. 產品適用
- 單晶矽/多晶矽
- STI 淺溝槽
- 鎢拋光
- 銅鑲嵌 ( WLP 和 MEMS )
- 光學玻璃、石英、硬脆材料
- 金屬類銅、鋁等拋光

2. 機器特性
- 單頭設計：屬於單頭拋光。
- 晶圓尺寸：視工件大小而定。
- 控制系統：PLC製程控制系統。
- 壓力控制：控制拋光過程中施加的壓力。
- 清潔模組：清除晶圓表面的任何殘留漿料或碎片。
- 供漿系統：拋光/研磨過程中精確控制流量與分佈。
- 配方管理：儲存與管理多個製程配方的能力，允許在不同製程之間的快速切換。
- 厚度偵測：研磨拋光可選配自動偵測工件厚度偵測功能。
- 自動整合：全自動加工環境，包含裝戴丶卸載和拋光研磨功能。
- 即時監控：拋光壓力丶墊磨損、漿料流量、工件厚度等參數的即時監控系統，實現對拋光過程的嚴格控制

 

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