顯微分光膜厚量測儀

 

產品型號：OPTM series

產品分類：PLP面板級封裝設備/材料

廠商名稱：大塚科技股份有限公司

攤位號碼：L222

 

產品特色

 

◎非接觸式膜厚測定必要的機能集中在一個量測頭
◎顯微分光下廣範圍的光學系統(紫外 ~ 近紅外)，最小對應spot約3μm
◎高精度、高再現性量測，絕對反射率光譜，分析多層薄膜厚度、光學常數(n:折射率、k:消光係數)
◎單點對焦加量測於1秒內完成
◎初學者也能輕鬆解析的初學者解析模式
◎獨立測定頭對應各種inline客製化需求


媲美橢圓偏光儀的極薄膜量測表現(1nm~)，
遠超橢圓偏光儀的超高速量測速度(1秒/點)，
遠小於橢圓偏光儀的聚焦量測面積(最小3μm）。

 

相關產品

 

• 

  SMART手持式光學膜厚計

• 

  光波動場3D顯微鏡

 

 

 

回列表