傅立葉掃描顯微鏡

 

產品分類：Micro LED生產製造設備

廠商名稱：先鋒科技股份有限公司

攤位號碼：N610

 

產品特色

 

高速掃描與非接觸式的量測技術，是近代對於特定奈米結構量測的主要需求，相較於SEM(破片量測)與AFM(探針掃描量測)都非真正的非接觸量測，Tera Nova的傅立葉掃描顯微鏡可以解決這樣的需求，提供了單奈米級的量測準確度，適合應用在光學與電子產業的結構量測需求上。
量測技術上，主要透過準直光束有效的入射到結構表面產生散射狀況，擷取散射角度不同的繞射光，可以計算出真實結構的立體樣貌，主力為量測光柵或透鏡陣列等等的穿透型元件表面結構，也是能夠有效取代白光干涉儀的光學度量新技術。

 

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