前所未見的高性價比大樣品半自動化AFM--僅市售它牌一半的預算即可享有 “6-12吋wafer量測"

廠商名稱：優鈦科技有限公司

發佈日期：2025-03-13

攤位號碼：M836

概觀

最直覺、快速高性價比的工業型AFM，

4吋-12吋樣品無需破壞直接上機檢測，

設定座標自動定位，讓您方便輕鬆量測，

產品研發、品質把關的最佳利器!

產品特點:

1. 提供 6 吋或 12 吋樣品量測使用，無樣品重量限制。

2. 超大行程二維電動樣品移動台，快速針對需要量測的位置輸入座標後自動定位下針。

3. 龍門架構掃描器設計，附大理石底座，真空吸附式載物台。

4. 馬達控制及壓電陶瓷掃描器自動偵測的進針方式，有效保護探針及樣品。

5. 自動光學定位，無需調焦，隨時觀測與定位探針樣品掃描區域。

6. 性價比最高之大載台工業型 AFM

優點

應用領域

1. 可定量表面形貌特徵(粗糙度、長寬高)

2. 非破壞檢測方式

3. 高空間解析度

4. 導體或絕緣體皆可成像

5. 一般大氣環境即可量測

6. 高度(厚度)量測精準度高

1. 航太工業

2. 生物醫學/生物技術

3. 化合物半導體

4. 資料存儲

5. 顯示器

6. 電子領域

7. 太陽能

8. 高分子聚合物

9. 半導體

10. 光電行業

應用案例：

1. 評估晶片處理前後的差異(SiO2, GaAs, SiGe等)

2. 確定生物醫學設備的處理效果(例如電漿處理)，如隱形眼鏡、導管和塗層支架

3. 檢查表面粗糙度對附著力的影響

4. 評估圖案晶圓的溝槽形狀與清潔度

分析項目:

1. 鍍膜分析: 粗糙度分析、膜厚分析、孔洞大小分析

2. 奈米材料分析: 粒徑分析、分散性分析

3. 可將表面結構轉換成3D 影像，更能了快速解材料結構形貌。

4. 材料表面彈性分佈、摩擦力分佈、電荷分佈、磁區分佈分析等。

實機照片:

技術規格

設備規格:

基本模式 : Tapping, Contact。選配 :Phase, MFM, EFM, LFM

掃描速率 : 0.6Hz~4.34Hz

力圖曲線 : F-Z 曲线、RMS-Z 曲线

掃描角度 : 0~360°

選配模式 : Profile 線快速测量模式

操作系統 : Windows XP/7/8/10 操作系统

掃描範圍 : XY: 50um，Z: 5um

通信方式 : USB2.0/3.0

掃描器解析度 : XY: 0.2nm，Z: 0.05nm

防震設計: 氣浮式防震台/金屬隔音箱

樣品尺寸: Φ=150mm(6吋)、300mm(12吋)，H<20mm

設備尺寸: 800×600×500mm

設備重量: 150Kg

樣品移動範圍: 300×300mm

光學顯微鏡規格 10X 物镜/1um 解析度

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優點

應用領域

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