【顛覆傳統⚡】超高速1秒測量 ⭕媲美橢圓偏光儀的1nm極薄膜量測・3μm微小聚焦・精度速度完美演繹⭕
廠商名稱：大塚科技股份有限公司
發佈日期：2025-02-17
攤位號碼：L222
薄膜厚度量測在現代科技中扮演著舉足輕重的角色，不僅影響電子產品與光學元件的性能表現，更關係到產品的耐用性與市場競爭力。由於薄膜的厚度決定了許多關鍵特性，其精準測量至關重要。
然而，許多臺灣使用者仍存在一個迷思——認為薄膜量測必須使用「橢圓分光法」。這源自於早期光譜儀感度不足的時代，當時需要透過收集更多資訊（如 p、s 偏振光）來測量較薄的膜層。但隨著硬體技術的飛躍發展，「顯微分光法」如今已能測量至 1nm 的薄膜，不僅能滿足絕大多數的薄膜量測需求，搭配顯微鏡更能滿足小面積(3μm)量測需求，更具備更高的靈活性與應用價值，為產業帶來更高效的解決方案。
顯微分光膜厚儀（OPTM）的優勢與重點：
- 高空間解析度：適合微小區域或複雜結構樣品。最小量測面積3um。
- 快速測量：能迅速取得膜厚及光學常數，非接觸測量減少樣品損傷。
- 多層膜分析：可同時解析多層膜結構，適應不同材料。
- 操作簡便：測量參數設定較簡單，使用門檻低。
- 高精度: 最薄可以從1nm~薄膜開始量測。
- 重複精度: 100nm以下:0.1nm 。100nm以上:0.07%。
與橢圓偏光儀比較：
- 精度：橢圓偏光儀對極薄膜（0.1nm起）具高精度，適用於透明膜，但量測小面積樣品較困難。
- 靈活性：比起橢圓偏光儀OPTM更適合不規則或微小樣品，且操作更直覺。
- 測量速度：OPTM測量速度較快(不到1秒)，而橢圓偏光儀需更多參數設定與校正。
臺灣大塚科技備有顯微分光OPTM的DEMO機，及專業量測人員。
跳脫過去薄膜只能用橢圓偏光的迷思，歡迎測試DEMO。
針對短期內沒有購機需求的客戶，我們也提供小量樣品付費委測服務，詳情請見付費委測服務按鈕！
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