Menu

首頁 / 參觀資訊 / 2022 參展商產品 / 磁懸浮智能控制穩壓系統

磁懸浮智能控制穩壓系統

產品分類：智慧製造 - 系統整合

廠商名稱：兆陽應用科技有限公司

攤位號碼：M134

產品特色

• 全球領先磁懸浮無軸承電機技術 – 絕無磨耗、絕無Particle
• 透過類比 / 數位訊號進行流量及壓力控制–營造穩定製程環境，改善玻璃晃動風險
• 正反轉雙向設計 – 可即時監控、自動補正氣壓或氣流
• 智能化參數調整 – 可依產品類別需求，自行變換製程參數
• 低保養需求、極長壽命 – 可使用長達10年以上，維護成本低
• 防爆、防水、防塵、耐酸鹼
• 多元應用面 – Chamber 、Exhaust、EUV / AP plasma、ETCH STRP、HPMJ、Cleaner AK段…等)

相關產品

您可能有興趣的產品

人氣產品專區

TOP