微檢測系統
產品分類：先進設備 - 先進封裝&3D IC
廠商名稱：漢民科技股份有限公司
攤位號碼：M412
產品特色
￭ 針對切割前後的膠膜上晶圓，進⾏切割道與異常微粒/缺陷的結構及成份分析
￭ 針對製程設備關鍵零組件，提供全物件的表⾯缺陷
￭ 15吋⼤型待測物件，全範圍檢測、免裁切
￭ 座標轉換定位系統，匯入AOI缺陷清單，進⾏微粒型態與成份分析(SEM/EDS)
￭ 先進電荷控制系統，突破陶瓷/⽯英/⾼分⼦材料的導電性不良限制
￭ 整合缺陷定量分析，⾃動檢測/輸出報告
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