電子束蒸鍍設備
產品型號:Peva-920EC
產品分類:先進設備 - 化合物半導體
廠商名稱:漢民科技股份有限公司
攤位號碼:M412
產品特色
電子束蒸鍍設備是在高真空的腔體中,使用電子束(E-Beam)照射的方式加熱材料至材料蒸發,讓材料附著於晶圓的表面形成薄膜鍍層。
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