半導體研磨液供應系統｜ iTrident 三桶式混料｜2022 台灣精品獎

 

產品型號：iTrident

產品分類：智慧顯示與應用-先進製程與高階製造

廠商名稱：亞泰半導體設備股份有限公司

攤位號碼：N1024

 

產品特色

 

SDS Customized-Blend
【獲頒2022台灣精品獎】
Poly/Oxide/STI/Cu/W
中央供給/局部供應
SDS類型：混合
WET N2>=94%
研磨液特性監測：PH值/比重/滴定儀/濃度/導電性
安全性：條碼/洩漏/壓力/門鎖
管路壓力循環(CLC)控制
自動功能：自動稀釋/槽的清洗/管路清洗/濾網清洗
混和精度：±10克
備用功能：(泵/槽/濾網/元件)
監視器系統：監控及資料擷取系統(SCADA)
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亞泰研磨液混料供應系統，以三桶式呈現，全機自動化操作包含入料模組、混料、供應及控制單元。針對半導體化學機械平坦化中所使用研磨液進行混料均勻攪拌並傳輸至製程端使用。
其他品牌的三桶式，個別桶僅可支援單一功能，因此無法承擔任何停機作業的風險；然而，亞泰藉由獨家的管路控制與穩壓技術，達到3個桶子中每一個桶子皆可完成研磨液的攪拌、暫存及供應等多功能，使混料供應可彈性配置單桶或同時運作；即便任一桶需停機檢修，皆可符合半導體廠不停線要求。
研磨液經由流體管線及控制閥注入底部為錐形的桶槽，以桶底噴流攪拌方式達到攪拌均態、避免沉積並且減少殘液。系統搭載品質優化方案，包括濕氮氣裝置，可避免與空氣接觸的研磨液乾燥硬化；品質分析模組進行研磨液補正；熱交換模組，以個別控制桶內液體的溫度；穩壓脈波吸收模組，搭配輸送泵組，以穩定研磨液供應的流量及壓力。
本產品主要為有限的廠房配置下爭取到更佳的物料處理坪效，節省空間之餘更藉由機組零件運作頻率降低達到設備使用壽命的延長，使總體成本的節省。在符合人因維修、空間節省及極簡美學的設計下，提供更優化的安全冗餘、混料更精確、且即時確保研磨液品質的供應系統。

 

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