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首頁 / 參觀資訊 / 2022 參展商產品 / 真空R2R電漿設備

真空R2R電漿設備

產品型號：R2R

產品分類：先進設備 - 先進封裝&3D IC

廠商名稱：馗鼎奈米科技股份有限公司

攤位號碼：M120

產品特色

．高密度電漿源，電漿效率高，減少製程時間
．專利設計之特殊電漿電極
．特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計
．處理之均勻性佳
．電漿均勻性佳
．可使用多種製程氣體
．全自動且容易操作
．設備穩定高，容易維護
．可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台

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