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XY共面氣浮平台

產品型號：CAB

產品分類：數位轉型與系統整合

廠商名稱：東佑達奈米系統股份有限公司

攤位號碼：尚未更新

產品特色

多軸共構於同一平面，有效減少誤差累積，搭配氣浮支撐達成超高平面度與運動精度，特別適用於晶圓檢測、平面掃描與奈米級定位系統。

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