超音波非接觸傳輸
產品分類:智慧顯示
廠商名稱:耐琪特國際有限公司
攤位號碼:L903
產品特色
採用頻率超過人聽覺上限(> 20 KHz)的超音波氣體軸承技術,通過對載台的震動,可在載台表面形成局部高壓氣膜,此基板即可被此高壓氣膜推升而造成無接觸的結果,該技術可在所有氣體環境中使用並可獨立使用於各式電子製程。
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