黃光微影塗佈及顯影機

產品型號：ATOM 6500C、ATOM 6500D

￭光阻塗佈：去水烘烤、HMDS塗佈、光阻塗佈、厚PI塗佈、軟烤。
將光阻由噴嘴噴吐在晶圓上，使用旋轉載台帶動晶片高速旋轉後，將光阻均勻散佈在晶圓片上
￭顯影：曝後烤、顯影、硬烤
將顯影液由噴嘴噴吐在晶圓上,將光阻顯影後以DIW(去離子)水加以沖洗，然後再將晶圓上的水旋乾。