全自動單軸晶圓減薄機
產品型號:GTR-1215A
產品分類:電子生產製造設備
廠商名稱:全鑫精密工業股份有限公司
攤位號碼:尚未更新
產品特色
*兼容4-12inch 晶圓研磨,研磨同時監測磨削負載, 防止工件磨削過程中因壓力過大產生變形及破損。
*吸盤尺寸可根據客戶的需求定製, 滿足不同尺寸半導體材料的研削薄化工藝。
*晶圓厚度實時監測, 自動補正, 保證晶圓厚度的準確性。
*晶圓自動上下片,其他Loadport, Wafer Robot , Aligner and clean system 等配置皆可依客人需求客製調整。
*控制器升級軟體新增Adaptive Control system, 穩定的研磨壓力,增進表面精度。
*自主開發設備軟體,可視化操作介面,多元應用, 亦可支援 SECS/GEM。
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