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首頁 / 參觀資訊 / 2024 參展商產品 / BatchGlass LF HTX

BatchGlass LF HTX

產品分類：解決方案

廠商名稱：RENA TECHNOLOGIES GMBH

攤位號碼：L412

產品特色

BatchGlass LF HTX 是一种用于玻璃基板的半自动湿处理工具。该设备可加工的基板尺寸从小型晶片到 600 x 600 毫米的大型面板。在批量加工过程中，可对最大 600 x 600 毫米的面板进行蚀刻、清洁和干燥。在特殊条件下进行蚀刻可实现极高的蚀刻选择性。RENA 提供特殊的蚀刻前和蚀刻后清洗程序，可在蚀刻前对基板进行调节，并在蚀刻后进行强化清洗。对于具有小而深的空腔的玻璃基板而言，后清洗程序正变得极为重要。先进的槽体设计和优化的流量可确保蚀刻的极佳均匀性。这对于激光和蚀刻的组合应用至关重要，例如包装行业的玻璃通孔 (TGV)。

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