等離子加工監控器
產品分類：磊晶技術
廠商名稱：台灣濱松光子學有限公司
攤位號碼：L321
產品特色
等離子加工監控器主要用於監控半導體製造中的蝕刻，濺鍍和在CVD過程中檢測光譜等離子體發射。
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