Plasma-Therm 蝕刻/沉積/離子蝕刻/熱處理
產品型號:VERSALINE/Navigator/Odyssey/Vision/KOBUS/LAPECVD/T
產品分類:化合物半導體材料/設備
廠商名稱:辛耘企業股份有限公司
攤位號碼:N303
產品特色
Plasma-Therm 自 1974 年以來致力於蝕刻技術的創新。Plasma-Therm 為微電子製造和研發應用中所使用的標準與先進製程設計並開發易於使用的製程平台。所有的平台皆為應用解決方案的核心,涵蓋廣泛種類的製程步驟如:蝕刻、沉積、材料改質和晶片分割。此外,我們平台優異的可擴充性,能協助您獲得所需的設備和功能。
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