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首頁 / 參觀資訊 / 2024 參展商產品 / 微檢測系統

微檢測系統

產品型號：MARS X8 Plus

產品分類：檢測

廠商名稱：漢民科技股份有限公司

攤位號碼：M412

產品特色

￭針對切割前後的膠膜上晶圓，進⾏切割道與異常微粒/缺陷的結構及成份分析
￭針對製程設備關鍵零組件，提供全物件的表⾯缺陷
￭ 15吋⼤型待測物件，全範圍檢測、免裁切
￭座標轉換定位系統，匯入AOI缺陷清單，進⾏微粒型態與成份分析(SEM/EDS)
￭先進電荷控制系統，突破陶瓷/⽯英/⾼分⼦材料的導電性不良限制
￭整合缺陷定量分析，⾃動檢測/輸出報告

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