光罩修補機
產品分類:修補與缺陷管理
廠商名稱:漢民科技股份有限公司
攤位號碼:M412
產品特色
■ 可維修半導體、LCD、OLED、PCB 光罩
■ 可維修 Binary & Halftone 光罩
■ 最小尺寸: ZAP<0.7um / CVD<1um
■ 透光率測量
■ 搭載即時雷射功率監測系統
■ 光罩尺寸的柔韌性與 MGV 相容性
■ Pattern Copy 與 Edge lock 功能
■ 可維修含 Pellicle之光罩
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