MicroLED檢測解決方案

 

產品型號：JadeML / ML7000

產品分類：Micro LED生產製造設備

廠商名稱：蔚華科技股份有限公司

攤位號碼：N214

 

產品特色

 

JadeML 為MicroLED 晶圓巨量PL（Photoluminescence）及非接觸式巨量漏電檢測解決方案，透過在MicroLED 晶粒巨量轉移之前100% 非接觸式晶粒發光特性及漏電檢測，確保晶粒的有效分類和分撿，實現有意義的巨量移轉。

【功能特色】
● 三合一非接觸式晶圓階段 100% MicroLED 晶粒掃描檢測技術
● MicroLED 晶粒檢測尺寸最小至5 μm
● 1 μm 空間解析度做 100% 晶粒PL強度檢測、mapping 及分類
● 晶圓上的光譜 mapping
● 0.5 nm 光譜解析度做 100% 晶粒光譜mapping 並提供包括PL 強度、峰值、主波長以及半峰全寬等資訊及晶粒分類
● 100% 晶粒非接觸式漏電檢測和篩選

 

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