微觀晶圓檢測系統

 

產品型號：MA6503D

產品分類：化合物半導體材料/設備

廠商名稱：蔚華科技股份有限公司

攤位號碼：N214

 

產品特色

 

Spirox MA6503D是一組高品質影像晶圓檢測系統， 用來替換QC人工目視檢測表面缺陷（顆粒、劃痕、Pad & Bump異常等），並具備自動保存缺陷圖像及座標位置記錄功能。

【功能特色】
● 採用Line Scan Camera，具大視野(FOV)與快速掃描能力
● 搭配3倍鏡頭，提高影像高品質圖片，增強缺陷特徵檢出
● 5μm 缺陷(Defects)檢測項目：晶圓表面異物(Particles) 、劃痕(Scratches) 、Pad 異常、Bump異常
● 支援PMI(Probe Mark Inspection)檢測，快選PAD功能檢測設定
● 支援3D檢測功能，可測量Bump球高與共面性計算
● 全自動晶圓級測試載台，高達±1.7μm 精度進行高準度晶圓座標定位
● 智慧化分區參數設定，實現不同區域之精確檢測要求

 

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