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首頁 / 參觀資訊 / 2024 參展商產品 / 單晶圓泡噴系統

單晶圓泡噴系統

產品型號：Sirius 2124 / Sirius 3024 / Sirius 3224

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：辛耘企業股份有限公司

攤位號碼：N303

產品特色

結合批次式浸泡槽結構與單晶圓噴灑系統的複合設備
適用於光阻乾膜與有機物去除
獨立藥劑循環系統，可支持定溫控制同時維持高回收率
舊藥液與新藥液交替運作、大幅減少製程浪費
正背兩面可同時進行製程噴灑
垂直泡+水平噴之獨特設計，有效避免晶圓片傳遞中的背沾污染問題
同時支持6"/8"或8"/12"不同尺吋晶圓使用，不需進行治具調整
設計符合SEMI基準架構

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