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常壓電漿清洗設備SAP006

產品型號：SAP006

產品分類：先進設備 - 半導體設備國產化

廠商名稱：馗鼎奈米科技股份有限公司

攤位號碼：M520

產品特色

◆ 無電弧擊傷、無ESD問題
◆ 高效的清潔能力、高速的處理、大面積的清潔
◆ 最小化的電極設計，可雙面處理
◆ 客製化設計、可廣泛的應用於In line產線
◆ 不需特殊氣體、氣體成本低廉、可取代UV/EUV
◆ 低溫電漿、可對應各式基板
◆ 去除有機物、表面活化、提高潤濕性、增加附著力等應用

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