晶圓光學顯微鏡自動檢測設備
產品分類:智慧顯示與應用-先進製程與高階製造
廠商名稱:旭東機械工業股份有限公司
攤位號碼:M534
產品特色
具備人眼巨觀檢查及自動化微觀缺陷顯微鏡檢查,並搭配智能化缺陷影像自動判別軟體,有效提升檢測速度並降低人為誤檢率。
● 可選擇單或雙晶圓盒自動入料載台系統
● 具備尺寸量測及AOI軟體缺陷檢測功能
● 可客製化手動舊機設備改造為自動化設備
● 支援SECS/GEM通訊
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