晶圓光學顯微鏡自動檢測設備

具備人眼巨觀檢查及自動化微觀缺陷顯微鏡檢查，並搭配智能化缺陷影像自動判別軟體，有效提升檢測速度並降低人為誤檢率。
● 可選擇單或雙晶圓盒自動入料載台系統
● 具備尺寸量測及AOI軟體缺陷檢測功能
● 可客製化手動舊機設備改造為自動化設備
● 支援SECS/GEM通訊