晶圓探針卡光學檢測設備
產品分類：智慧顯示與應用-先進製程與高階製造
廠商名稱：旭東機械工業股份有限公司
攤位號碼：M534
產品特色
針對晶圓點測用探針卡進行自動光學檢量測分析，並具備人工調針光學顯微影像平台，整合自動化檢測及探針卡調針修復功能。
● 整合高解析度2D+3D量測技術
● 支援各式樣探針卡量測分析功能
● 支援SECS/GEM通訊
●2D 量測分辨率: ≦ 1 μm
●3D 量測分辨率: ≦ 0.1 μm
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