極小微步進移動的三軸精密平台
廠商名稱:翊鼎光電股份有限公司
發佈日期:2022-03-03
攤位號碼:M329
翊鼎光電將於2022年TOUCH TAIWAN展出可以穩定極小微步進的三軸移動平台。
透過KOHZU多年來累積的精密平台製造技術,實現了低成本高追跡性的0.1um移動平台。
適合用在半導體,3D IC等需要穩定微小定位的產業。
無需使用光學尺,就可以達到高精度高信賴性的移動。
且透過精心設計的三點構置,使用上變得簡單,也可以更有彈性的設計檯面大小以及開孔大小。
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