【尚偉丨知識+】膜厚測量儀之初探 : 薄膜量測原理
廠商名稱:尚偉股份有限公司
發佈日期:2023-04-07
攤位號碼:N303
薄膜干涉(thin-film interference)是一種自然現象,主要由於薄膜上下邊界反射的光波相互干擾,導致反射光增強或減少。當薄膜的厚度是其入射光源的1/4波長的奇數倍時,則來自兩道表面的反射光波會彼此干擾而相互抵消;而當厚度是光的1/2波長的倍數時,則這兩道反射光波會相互加強。因此,當由一系列波長組成的白光照射到薄膜上時,部分波長(顏色)會增強,而其他波長(顏色)則會衰減。
在光學研究中,薄膜通常是指厚度介在奈米到微米範圍內的一層材料。當光線照射到薄膜表面時,會穿透上層表面,或者是在上層表面直接反射。接著當穿透的光到達底層時,可能再次穿透或反射。從上層表面和底層表面反射的兩道光,會由於光在薄膜上的入射角、光波相位差異、薄膜層的厚度或薄膜的折射率影響產生的建設性或破壞性干涉(constructive or destructive interference)。
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小型膜厚測量儀 : https://www.sun-way.com.tw/compact-film-thickness-monitor.html
影像膜厚測量儀 : https://www.sun-way.com.tw/imaging-film-tickness-monitor.html
晶圓測繪設備 : https://www.sun-way.com.tw/shashin-kagaku-wafer-mapping-unit-wmu.html
【尚偉知識+】
膜厚測量儀之初探 : 膜厚量測原理 : https://www.sun-way.com.tw/show/show-1230997.htm
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