【尚偉丨知識+】膜厚測量儀之初探 : 薄膜量測原理
廠商名稱：尚偉股份有限公司
發佈日期：2023-04-07
攤位號碼：N303
薄膜干涉（thin-film interference）是一種自然現象，主要由於薄膜上下邊界反射的光波相互干擾，導致反射光增強或減少。當薄膜的厚度是其入射光源的1/4波長的奇數倍時，則來自兩道表面的反射光波會彼此干擾而相互抵消；而當厚度是光的1/2波長的倍數時，則這兩道反射光波會相互加強。因此，當由一系列波長組成的白光照射到薄膜上時，部分波長（顏色）會增強，而其他波長（顏色）則會衰減。
在光學研究中，薄膜通常是指厚度介在奈米到微米範圍內的一層材料。當光線照射到薄膜表面時，會穿透上層表面，或者是在上層表面直接反射。接著當穿透的光到達底層時，可能再次穿透或反射。從上層表面和底層表面反射的兩道光，會由於光在薄膜上的入射角、光波相位差異、薄膜層的厚度或薄膜的折射率影響產生的建設性或破壞性干涉（constructive or destructive interference）。
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小型膜厚測量儀 : https://www.sun-way.com.tw/compact-film-thickness-monitor.html
影像膜厚測量儀 : https://www.sun-way.com.tw/imaging-film-tickness-monitor.html
晶圓測繪設備 : https://www.sun-way.com.tw/shashin-kagaku-wafer-mapping-unit-wmu.html
【尚偉知識+】
膜厚測量儀之初探 : 膜厚量測原理 : https://www.sun-way.com.tw/show/show-1230997.htm
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