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    均豪精密工業股份有限公司

     

     

    主題

     

    G10.5濕式蝕刻設備

     

    演講大綱

     

    簡介:
    因應TV、Monitor、NB、Smart Phone終端產品的面積大、重量輕、薄、售價低的發展，基板的尺寸大小也由G1(300x400mm)發展到G10.5(2940x3370mm)。開發製造對應的大型G10.5濕式蝕刻設備。

    特色 :
    1. 無上壓輪蝕刻傳送系統：全驅動最佳化Roller/Shaft Pitch
    2. 大尺寸高直準度上下乾燥風刀組設計：模組化簡易安裝方式/可視化調整機構
    3. 設備智能化設計：雙濾心系統/自動管路與Tank殺菌清洗/自動防結晶清洗/智慧診斷與預防維護平台系統

    應用 :
    1. 可對應G1~G10.5基板(2970x3340mm)金屬濕式蝕刻設備，運用於Mo、Cu、Cr、Al、ITO、IGZO金屬濕蝕刻製程。
    2. FOPLP製程中相關的金屬濕式蝕刻。
    3. 智慧診斷與預防維護平台系統可應用在各種設備，藉由AI、大數據的分析。進行預防保養、安排生產計劃。達到產能利用率最大化。