Menu

首頁 / 最新消息 / 金屬氧化物顯示器技術在 OLED TV&IT領域的新變革 (Enabling the Display Metal Oxide Inflections at OLED TV&IT Era)

金屬氧化物顯示器技術在 OLED TV&IT領域的新變革 (Enabling the Display Metal Oxide Inflections at OLED TV&IT Era)

 

發佈日期:2020-09-11

新聞類型:展後報導

 

        Applied Materials 應用材料公司副總裁暨顯示器與柔性技術事業群台灣區總經理郭怡之在2020「Beyond the Display」跨域研討會發表「Enabling the Display Metal Oxide Inflections at OLED TV&IT Era」的演說,以下為他的主要演講內容。

       金屬氧化物製造技術目前已可擴展到大尺寸基板生產,相較於LTPS多運用在6代線,金屬氧化物則已可運用在8.5代甚至10.5代生產線。隨著金屬氧化物的Mobility (μ)不斷提升,其應用已從原本Tablet(μ~10 cm2/Vsec)為主的應用市場,進展至目前240 Hz Gaming Monitor與8K 120Hz 85吋 LCD/OLED TV(μ20~30 cm2/Vsec),未來μ更將可以達到約50 cm2/Vsec左右(如圖一),不僅可以運用在OLED的Foldable display產品上,亦可應用在包含Mini LED 與 Micro LED的背板。


圖一   金屬氧化物技術與應用市場的演進

 

       金屬氧化物8.5代發展到現今的10.5代,面積增長幾乎達到1.8倍之多,對於製造技術造成很大的挑戰,如對於金屬氧化物的CVD製程而言,則遇到了三個最主要的挑戰,第一個挑戰就是如何在同一個製程腔體內,能夠生產非常好鍍膜品質的silicon nitride跟silicon oxide,第二個是如何控制並達到非常好的溫度均勻性(@3mx3m),第三個挑戰是如何在大尺寸、大Power使用狀況下,達到很好的電漿confinement效果。Applied Materials分別透過獨特創新的上電極板設計、多區且獨立控制的加熱控制系統(Max~9區)、特殊的鍍膜腔體設計等,使得silicon nitride與silicon oxide的薄膜均勻度在10.5代線的狀況下,可達到10%以下的均勻性要求(如圖二)。

圖二   金屬氧化物在CVD製程技術的改善成果

 

       在金屬氧化物的PVD製程方面,透過旋轉靶的獨特設計與二種平台,包含Pivot平台(靜態鍍膜,多用於LCD)與NAR平台(動態鍍膜,多用於OLED),可達到2%的鍍膜均勻度,uPCR均勻性亦可達到10%,並藉由穩定與較高的靶材利用率,達到降低生產成本的效益(如圖三)。目前全球已有超過4,000隻旋轉靶的使用實例,並有超過350隻旋轉靶是使用在IGZO製程上。

圖三   金屬氧化物在PVD製程技術的改善成果

 

圖四   金屬氧化物在全面製程整合的完整解決方案

       雖然IGZO可運用在10.5代大尺寸生產線上,但卻面臨IGZO在生產製程複雜度很高的挑戰,如CVD製程中的氫原子,會不斷地與PVD製程中的氧原子互相反應,因而改變了IGZO的鍍膜品質。因此,Applied Materials透過完整的元件與系統整合方案,實現了全面性的高品質、高穩定性IGZO鍍膜的完整解決方案,進而達到了客戶在高解析度8K LCD/OLED TV嚴格的製程要求(如圖四),展望未來,IGZO將更普及地實現在Mini LED與Micro LED顯示器背板的應用市場。

 

應用材料(Applied Materials, Inc.)小檔案

        應用材料公司(Applied Materials, Inc.)成立於1967年,是全球最大半導體及顯示器設備商及奈米技術解決方案的領導廠商,名列全球前五百大公司之一,2019年度營收達146億美元,研發投入超過20億美元,累積專利數超過12,500件。總部設於美國加州矽谷的聖塔克拉拉 (Santa Clara),在美國、歐洲、以色列、台灣以及新加坡等地都設有技術研發與製造中心,於全球17個國家設有93個行銷、服務據點,擁有超過21,000多位的員工。Applied Materials曾於2019年度榮獲美國財富雜誌選為《全球最受推崇企業》、美國Computerworld雜誌評選為《 IT業百大最佳工作場所》。

台灣應用材料公司(Applied Materials Taiwan, AMT)是美商應用材料公司在臺子公司。在林口、新竹、台中與台南設有服務據點,台南設有製造中心與顯示器實驗室,並在桃園另設有亞洲零組件物流中心。

應用材料的設備廣被應用來製造新式晶片與先進顯示器。該公司以工業規模在原子層級進行材料改質,協助客戶實現美夢,化研發為商品。該公司提供半導體、平面顯示器、太陽能光電、軟性電子與節能玻璃等產業的創新設備、服務及軟體產品,提供客戶在生產製造所需的解決方案,增加設備整體良率與效率,成就客戶的成功,進而改善人們的生活方式。

主要商品及服務項目如下:

1. 半導體設備

ALD, CMP, CVD, ECD, Epitaxy, Etch, Ion Implant, Metrology and Inspection, PVD, Rapid Thermal Processing

2. 顯示器設備及相關產業事業群

Display Technology: Array Test, CVD, PVD

Solar Technology: Wafering and Inspection, Cell manufacturing, Ion Implantation, Screen Printing

3. 全球服務

Fab Services, FabVantage, Components, Equipment, Software etc.

 

 

 

回列表

 

更多最新消息

 

TOP