以顯示器良率設備(DYE)生態系統強化高端顯示器製造的良率表現

 

應用材料公司是全球前五百大公司之一，專事製造先進的半導體、平面顯示、太陽光電的各項創新性設備、服務及軟體產品。今年已是該公司50周年紀念。自1993年起應用材料公司已是顯示器技術的領導者。今日應用材料的顯示器及附屬市場訂單已經達到21億美元的規模。

 

應用材料顯示器和可撓式科技的核心產品有CVD、PVD、E-Beam檢測器、和Roll-to-Roll E-Beam蒸鍍。在2016推出薄膜封裝設備和In-Lin SEM Review在線缺陷檢測系統 (EBR)。

 

今日顯示器科技已朝高解析度(4K、8K)、可彎可捲可折疊、以及較大尺寸邁進。在面板從LCD邁向OLED的過程中，背板的良率是一項很大的挑戰，而這方面的關鍵在於粒子(particles)。

 

OLED和高解析度會增加所謂的致命缺陷(killer defect)發生的風險，只要是因為電晶體的範圍增加以及需要更小的TFT，會增加殺手粒子的產生。也因為這樣，新的良率管理技術就應運而生。

 

隨著製程的複雜化，應用材料建立了新的顯示器良率設備(DYE)生態系統以增高客戶的良率表現，這個系統採用半導體良率的優化技術以及新的檢測方法。

 

應用材料運用半導體元件檢視的先進掃描式電子顯微鏡技術(SEM)，進一步結合在大尺寸顯示器的真空系統平台上，成為首台可於生產線上使用的高解析度電子束檢視(EBR)系統。此一系統透過自動光學檢測臨界尺寸(CDs)，讓客戶可以進行精準的自動檢測，以最快速有效且非破壞性的方式，發現與分析造成缺陷和良率損失的原因，讓面板廠能更迅速達成OLED與LCD液晶面板產品的最佳化良率，幫助客戶解決製造中的關鍵挑戰。

 

由於先進的平板顯示技術需要越來越多的生產工序，可能產生更多、更小的汙染物，以及新類型的缺陷。在區分致命與非致命缺陷以及確認導致缺陷的系統性原因方面，目前傳統的在線自動光學缺陷檢查設備無一能與SEM分析技術相媲美。隨著越來越多的顯示器廠商希望通過快速、有效的方式來提升良率，盡快將新產品推向市場，勢必將進一步提升該系統的未來需求。

 

自1993年起應用材料公司已是顯示器技術的領導者，而今更是液晶顯示器（TFT-LCD）名列第一的設備供應商。因此，當今幾乎每台顯示器都是使用應用材料公司的設備所製造的。由於顯示器越來越普及，應用材料公司已率先探索方興未艾的螢幕顯示器先進技術，例如觸控螢幕，軟性基板和有機發光二極體(OLED)。