• 趙維江

     

    技術經理

    日新離子機器株式会社

     

     

    主題

     

    與第一代機型比產能提高了3倍的SiC電力電子器件製造用高溫離子注入機IMPHEAT-II

     

    講師簡介

     

    2003至今，於Nissin Ion Equipment, 歷任工程師，技術專家，研發Group經理,技術經理

     

    演講大綱

     

    SiC電力電子器件用高溫離子注入機（IMPHEAT-II）在離子源，搬送系統等方面的改進使得社內比生產性提高了三倍。並且導入了精確隧道注入技術。