• Ian Wright

     

    副總裁, 銷售與業務開發, 亞洲區

    英商牛津儀器海外行銷公司

     

     

    主題

     

    電漿拋光解決方案應用於電力的Epi製備SiC

     

    講師簡介

     

    Education:
    英國拉夫堡大學機械工程學士學位
    Experience:
    SPTS 區域行銷資深總監, 亞洲區
    STS 區域銷售總監, 亞洲區

    作為銷售和業務開發副總裁，Ian 於 2016 年從 SPTS 加入牛津儀器，目前已在該行業工作超過 35 年，特別參與了 MEMS、光電子和封裝市場電漿解決方案的開發和營銷，最近也參與其中。而牛津儀器則優先考慮將WBG 功率部分用於蝕刻和ALD 製程解決方案。 Ian是 90 年代中期在 STS 期間將“Bosch”Silicon DRIE 推向市場的元老團隊之一。
    Ian負責牛津儀器電漿解決方案在整個亞洲地區的所有銷售和業務開發活動，從西方的土耳其一直到東方的日本，在此期間，他的團隊已將設備解決方案業務擴展了 400% 以上。 Ian 在新加坡工作了近 20 年。

     

    演講大綱

     

    碳化矽 (4H-SiC) 因其獨特的材料特性而成為高壓 (>1.2kV) 電力應用的理想寬頻矽半導體。 然而，這些獨特的特性也帶來了加工挑戰，需要開發以保持高產量，並且基板成本高，這大大增加了裝置成本。 牛津儀器 (Oxford Instruments) 在其現有 PlasmaPro 100 蝕刻平台上開發並推出了電漿拋光工藝，這是一種非接觸式、可擴展的表面拋光工藝。 電漿拋光旨在為外延製備 SiC 晶圓，其他相關應用也在開發中，從而解決整個 SiC 裝置生產流程中的成本和品質挑戰。 在演講中，Ian 將分享他們在非接觸式 SiC 拋光製程產品化方面的進展。