• 鄧貴敦

     

    協理

    東佑達自動化科技股份有限公司

     

     

    主題

     

     

    演講大綱

     

    奈米精密氣浮平台採用非接觸式空氣軸承移動容易實現六個自由度，而中空平台搭配無鐵心線性馬達，輕量化，大中空結構設計，提供了更大的加工區域和更高的穩定性。能夠進行微米級的精密加工，廣泛應用於面板貼合、精密印刷、晶圓定位、AOI檢測、Micro LED、半導體等精密量測。