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歐特威科技股份有限公司

APPLIED OPTIVAC TECHNOLOGY, INC.

 

厂商分类:

摊位号码:

公司网址:http://www.aot-tek.com/

 

 

公司简介

 

歐特威科技成立於2003年,以銷售電漿(等離子)plasma相關的技術產品為主,同時也替產業進行技術諮詢與專案建立規劃等業務。
從脈衝直流電源供應器的中頻MF應用到最新的高功率脈衝磁控濺鍍HIPIMS,搭配EMICON等離子光譜監控系統,是磁控濺鍍製程開發與產線稼動率最高的最佳組合。
適用的產業包含:觸摸屏、光電顯像器、微機電、太陽能、半導體等熱門產業。另外還有針對模具、切削工具、汽車曲軸、各種精密齒輪等產業的等離子表面滲氮與滲碳的處理,可做單機或整廠規劃輸出的專案。
在亞洲的中國、日本、韓國、馬來西亞、印度都有合格的經銷商負責各區的業務。

 

主要产品

 

Magpuls高功率脈衝電源供應器:
是最新一代的HIPIMS/MF電源供應器,內建波形編輯與製程配方存取的功能,也能輕鬆掌握主從機台的同步控制,搭配製程優化非常容易上手。HIPIMS疊合MF同步輸出的超級搭配給磁控濺射更多製程發展的空間,也大大提升高品質的鍍膜速率,是新世代鍍膜機必備的利器。
PLASUS等離子製程監控系統:
是最先進的EMICON等離子製程線上監控最佳的系統,具有全波段高感度的光譜收集與分析
SpecLine等離子光譜分析資料庫軟體: 內建超過60萬筆原子、分子的光譜資料庫可做比對分析。
robeko微波源: 具有拋物反射鏡面,可在等同濺鍍的壓力下工作。有很低的離子化能量。
TFC磁控濺鍍靶: 高使用率的平面多磁極設計高功率靶,適合HIPIMS。也有UHV專用磁控靶,適合MEMS與半導體。

 

 

 

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